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关键词:

作品名称:反应离子刻蚀硅基量子点太阳光谱吸收特性实验研究

作品大类:自然科学类学术论文

作品来源:第十二届“挑战杯”省赛作品

作品简介： 采用不同比例HF/HNO3/H2O混合液在20℃-80℃温度范围通过腐蚀反应制备多晶硅绒面，用分光光度计在200nm～1200nm波长范围内分别测试了所制备的多晶硅绒面和PECVD制备的减反射膜的反射光谱。研究发现温度对制绒腐蚀制备多晶硅绒面的反射光谱有较大的影响，且反应刻蚀后再利用PECVD在多晶硅绒面上制备氮化硅薄膜具有较好减反射作用。研究结果对研究开发硅基量子点太阳电池有重要的意义。