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作品名称:RF MEMS滤波器的集成化设计与制造

作品大类:自然科学类学术论文

作品来源:第十一届“挑战杯”国赛作品

作品简介： 本作品通过计算仿真，完成了针对无线通讯主要频段的滤波器设计。对MEMS 电感电容进行了建模、仿真及优化。成功制造出MEMS平面螺旋电感，并且对另一关键元件电容开展了深入研究，从结构和工艺两方面进行优化，提出与MEMS电感工艺相兼容的全金属螺旋电容结构。并对制造过程中的关键步骤电镀铜工艺进行了研究，最终提出了一套全金属电镀铜滤波器的可行性工艺方案并成功制造出了关键元件。本研究成果有望应用于无线电产业...

作品名称:月球车车轮正交转向力矩分析

作品大类:自然科学类学术论文

作品来源:第十一届“挑战杯”国赛作品

作品简介： 本文对刚性车轮与土壤相互作用的转向力学特性进行了深入的分析和研究。